他在6月30日报道说，根据卫星激光通信系统的公开说明，根据“中国科学院的声音”，光束控制的精确度决定了通信的质量。当卫星激光通信系统被视为“数字生活”以在太空中传播时，控制激光器的高速反射器（以下称为高速反射器）是“精确的头脑”，可维持其操作。这种“基于硅的心”正好调节激光束。这样可以防止萨南卫生间通信的“生命迹象”被中断。最近，上海系统信息技术研究所，中国科学院，成功地开发了一个高性能的MEMS，这是带有集成角度传感器的快速镜子。镜子的大小更大，包装的大小较小。整合Senhigh灵敏度角度。它具有良好的线性，角度溶质UTION，响应速度，重复定位的精度和镜子的动态变形。您可以执行更精确的闭合激光束控制控制，并且它具有激光卫星通信的巨大潜力。如图所示，MEMS封装的镜像只是货币尺寸。 ▲MEMS包装镜像IT室需要一组极端性能指标，其中包括高方向精度，高工作带宽和高光学质量，以满足激光链路的需求，以实现高精度光束控制。研究团队面临两个主要的技术瓶颈。传统的高速机械镜是原始的快速镜，具有大尺寸，高功耗，磁滞和小镜，在带宽和集成角度传感器下。随着埃斯汀（Estin）的增加，研究人员创造了航空航天水平的烂摊子，在过去五年中高度精确且高度发射。研究人员使用了异质整合技术y of bilapa。这就像在设备上安装“复合骨头”，以实现MEMS快速镜的更高的填充因子和共振频率。同时，晶圆级结合技术用于实现高速镜和高均匀的准备。该设备具有高线性，超高角度的分辨率，快速响应和可重复性定位的高精度。该内存很快提到镜像具有μRAD（Microradians）的定向精度，并且可以区分从0.3μRAD到最小值的角变化。 ▲MEMS快速镜面表征结果设备，当使用硅脚带的原理快速MEMS镜像中的PressChip Angle NSOR启发。通过创新的结构设计，引入了机械定向的结构，创建了应力的面积（SCR），从而在5.4MV/（V・MRAD）下提高了3.3mV/（v・mrad）角传感器的灵敏度，从而显着优化了光束对照的精度。 Th设计就像一个普通人突然赢得了超人的试镜，发现以前忽略了细节，并清楚地听取了远处微妙的声音。 ▲抗性角度传感器的结构设计绘制空间，以确保激光通信信号具有“破坏性”，研究小组进行了理论计算，有限元和实验测试的模拟，并首次进行了“完全尺寸的体格检查”，以进行大型直观镜的动态变形。结果表明，准静态磁盘的频率（500Hz@±2Mrad），即500Hz（Hz），快速MEMS的角度精度可以达到±2Mrad（milliriradia），并且只有2个纳米表面的最大变形。这相当于足球场的镜面，所有起伏都只是头发的直径他镜子。 ▲动态镜像变形特性：新的MEMS快速镜具有很大的优势，为航空航天场中的重要应用提供了一个视角。将来，研究团队将继续优化对镜像，闭路控制和设备可靠性的研究。
